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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求一个可以做光电导薄膜（氢化非晶硅）沉积的加工单位
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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 求一个可以做光电导薄膜（氢化非晶硅）沉积的加工单位 已有1人参与

由于在光诱导介电泳的研究过程中有一步关键的工艺自己没法做，即在刻蚀出图案的ITO玻璃上沉积一层光电导薄膜（氢化非晶硅），需要外协帮忙，但一直未找到，求知道的提供下联系方式（私聊给我也行）~拜托了，毕业急需~收到后追加金币
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1楼 2015-08-28 13:19:39
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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 纳米改变生活 at 2016-08-24 09:57:06
楼主您好，因为实验急需要在ITO表面沉积一层a-Si:H（氢化非晶硅）薄膜，500-1000nm，请问您是在哪里镀的膜，方便把联系方式给我吗？谢谢！

这个问题我也还没解决，如果你解决了麻烦回复下我怎么弄的。

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6楼2016-08-24 14:20:29
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-08-28 21:49:09
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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-08-28 21:49:09
氢化非晶硅不是很清楚，我们都用磁控溅射做非晶硅薄膜

磁控溅射也是一种方法，麻烦你看下你那边能做磁控溅射氢化非晶硅的薄膜不？因为我没研究过具体的工艺，只知道我要达到制作光诱导介电泳芯片的光电导薄膜要求。
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3楼2015-08-29 09:10:29
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沉淀时光

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你去查下国内做 异质结太阳能电池的 也就是a-Si:H/c-Si heterojunction solar cell.这里用的非晶硅都是氢化的，一般都是用PECVD在低温 （200C）下沉积的。
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4楼2015-08-31 19:45:35
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