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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 求一个可以做光电导薄膜(氢化非晶硅)沉积的加工单位 已有1人参与

由于在光诱导介电泳的研究过程中有一步关键的工艺自己没法做,即在刻蚀出图案的ITO玻璃上沉积一层光电导薄膜(氢化非晶硅),需要外协帮忙,但一直未找到,求知道的提供下联系方式(私聊给我也行)~拜托了,毕业急需~收到后追加金币
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纳米改变生活

铜虫 (初入文坛)

楼主您好,因为实验急需要在ITO表面沉积一层a-Si:H(氢化非晶硅)薄膜,500-1000nm,请问您是在哪里镀的膜,方便把联系方式给我吗?谢谢!
5楼2016-08-24 09:57:06
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

2楼2015-08-28 21:49:09
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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-08-28 21:49:09
氢化非晶硅不是很清楚,我们都用磁控溅射做非晶硅薄膜

磁控溅射也是一种方法,麻烦你看下你那边能做磁控溅射氢化非晶硅的薄膜不?因为我没研究过具体的工艺,只知道我要达到制作光诱导介电泳芯片的光电导薄膜要求。
3楼2015-08-29 09:10:29
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沉淀时光

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你去查下国内做 异质结太阳能电池的 也就是a-Si:H/c-Si heterojunction solar cell.这里用的非晶硅都是氢化的,一般都是用PECVD在低温 (200C)下沉积的。
4楼2015-08-31 19:45:35
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