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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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四有新人

铜虫 (正式写手)

[交流] 小块纳米薄膜如何表征厚度?有哪些方法。 已有6人参与

类似于纳米带的结构。长度和宽度在10um左右,厚度在100nm左右。因为样品是紧贴在基底上的。用sem很难测到样品厚度。大家一般用什么方法表征厚度呢?
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上善若水,厚德载物
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NJBSYH

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
台阶~光学膜厚仪~能测膜厚的都可以吧!

发自小木虫Android客户端
3楼2015-08-27 20:19:34
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石银东

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
样品的长宽厚都知道的话,用常规的膜厚仪就可以测量啊,这个不是什么大问题。
2楼2015-08-27 20:12:28
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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
100纳米的厚度用普通的表面轮廓仪(stylus profiler)是可以测量的,椭偏仪也可以测量,当然AFM也可以
4楼2015-08-28 09:07:42
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yangshuanglei

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果厚度比较大的话,可以用光学膜厚仪;厚度很小的话 建议用AFM去测试。
7楼2015-08-31 12:15:38
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