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四有新人

铜虫 (正式写手)

[交流] 小块纳米薄膜如何表征厚度?有哪些方法。 已有6人参与

类似于纳米带的结构。长度和宽度在10um左右,厚度在100nm左右。因为样品是紧贴在基底上的。用sem很难测到样品厚度。大家一般用什么方法表征厚度呢?
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上善若水,厚德载物
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石银东

木虫 (正式写手)


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样品的长宽厚都知道的话,用常规的膜厚仪就可以测量啊,这个不是什么大问题。
2楼2015-08-27 20:12:28
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NJBSYH

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
台阶~光学膜厚仪~能测膜厚的都可以吧!

发自小木虫Android客户端
3楼2015-08-27 20:19:34
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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
100纳米的厚度用普通的表面轮廓仪(stylus profiler)是可以测量的,椭偏仪也可以测量,当然AFM也可以
4楼2015-08-28 09:07:42
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xxzrb

木虫 (小有名气)

AFM不错
5楼2015-08-28 14:01:14
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wrt8089503

至尊木虫 (著名写手)

偏光显微镜
6楼2015-08-28 18:54:26
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yangshuanglei

金虫 (小有名气)


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如果厚度比较大的话,可以用光学膜厚仪;厚度很小的话 建议用AFM去测试。
7楼2015-08-31 12:15:38
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四有新人

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by wrt8089503 at 2015-08-28 18:54:26
偏光显微镜

这个不行的吧,我用的就是偏光显微镜
上善若水,厚德载物
8楼2015-09-02 08:36:14
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wrt8089503

至尊木虫 (著名写手)

原子力AFM
9楼2015-09-02 10:11:36
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