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AlN 纳米薄膜的晶体结构
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ALD沉积的纳米ALN薄膜的XRD衍射峰结果如图。请问各位大神关于2Theta=55的那个大峰怎么解释？2Theta=51附近的峰可以解释为（102）吗？谢谢啦！ AlN.jpg |
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