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BCB键合铌酸锂
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请问有没有虫友做用BCB键合铌酸锂的工艺呀? 我们发现铌酸锂跟BCB的热膨胀系数相差太大,随着键合完退火温度的降低,铌酸锂就碎掉了,请问大家有什么好的方法或者设备解决这一问题呀? 请大家多多提提意见,同时在微纳加工方面有你们不懂的也可以一起交流学习,共同进步。 ![]() ![]() |
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