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BCB键合铌酸锂
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请问有没有虫友做用BCB键合铌酸锂的工艺呀？ 我们发现铌酸锂跟BCB的热膨胀系数相差太大，随着键合完退火温度的降低，铌酸锂就碎掉了，请问大家有什么好的方法或者设备解决这一问题呀？ 请大家多多提提意见，同时在微纳加工方面有你们不懂的也可以一起交流学习，共同进步。  |
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