| 查看: 1117 | 回复: 4 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
残缺2012新虫 (初入文坛)
|
[求助]
等离子体增强原子层沉积（PEALD）制备TiO2薄膜 已有1人参与
|
|
用等离子体增强原子层沉积（PEALD）制备TiO2薄膜，主要是想在低温下（100℃）能将其成功沉积，前驱体源为四异丙醇钛（TTIP）和O2等离子体，基底是单面抛光的P型硅片，载气为Ar，具体参数如下，请虫友们帮我分析下那个参数不合理导致实验老失败 Heater： 100℃ Purge： 120℃ Pumpline： 150℃ TTIP源瓶加热温度：65℃ Chamber： 100℃ 反应工艺压力：0.15 torr 根据0.15torr的反应压力，设置载气流量，有三个Ar的管道，流量分别为30，20,16 sccm O2等离子体的流量20 sccm Plasma的功率：150W 配方： Dose—Reaction--Purge—Plasma—Purge—Goto—End 1s 2s 100s 15s 40s 500次 以前在TALD上做过TiO2，沉积温度是200℃，现在主要研究低温沉积，所以用了PEALD-100A设备，我觉得影响因素较大的应该是配方中的Dose时间，我试过0.5s，1s和2s，都没有用，请各位大神们指点一二~。~  PEALD界面图 |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有270人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 等离子体增强原子层沉积（PEALD）制备TiO2薄膜
已经有2人回复
3楼2015-09-17 16:38:33
飞儿271
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 7.4
- 散金: 65
- 帖子: 101
- 在线: 62.5小时
- 虫号: 3331473
- 注册: 2014-07-20
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类电介质与电解
5楼2017-02-20 14:30:06