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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 求助微流控滑动芯片的制作加工
汕头大学海洋科学接受调剂
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tyy0731

新虫 (小有名气)

[求助] 求助微流控滑动芯片的制作加工 已有4人参与

请问玻璃基滑动芯片的上下层玻璃如何才能无缝隙，解决注液后无漏液从通道流至其他地方的问题。
下面是我的图。请多指教!

求助微流控滑动芯片的制作加工
IMG_0296.JPG
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1楼 2015-08-18 16:14:10
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by tyy0731 at 2015-08-19 19:03:11
请问您知道的疏水处理方法有哪些？...

硅烷化处理。我只知道这个比较简单。
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13楼2015-08-19 19:41:49
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feul

捐助贵宾 (小有名气)
你仔细看一下SlipChip的文献。如果用矿物油，需要进行二氯二甲基硅烷化，如用全氟油，需要对表面进行全氟硅烷化。
芯片在使用之前，需要先用油相浸润。
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宁静致远
14楼2016-05-19 22:25:38
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普通回帖

luckyboyyt

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般方法是pdms+玻璃，接触面分辨用RIE刻蚀

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2015-08-18 22:48:50
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
tyy0731: 金币+1 2015-08-28 18:25:02
管路不密封可能还是不行的说。单纯靠表面光洁度，就需要有足够的压力来压紧接触面。
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3楼2015-08-19 09:07:40
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tyy0731

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by luckyboyyt at 2015-08-18 22:48:50
一般方法是pdms+玻璃，接触面分辨用RIE刻蚀

RIE刻蚀是什么方法？
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4楼2015-08-19 09:52:09
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tyy0731

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by luckyboyyt at 2015-08-18 22:48:50
一般方法是pdms+玻璃，接触面分辨用RIE刻蚀

不是很懂RIE刻蚀
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5楼2015-08-19 09:53:12
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luckyboyyt

木虫 (文坛精英)
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
5楼: Originally posted by tyy0731 at 2015-08-19 09:53:12
不是很懂RIE刻蚀...

反应离子束刻蚀
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6楼2015-08-19 10:06:59
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tyy0731

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by luckyboyyt at 2015-08-19 10:06:59
反应离子束刻蚀

哦，我用光刻蚀刻可以吗？
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7楼2015-08-19 13:37:29
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luckyboyyt

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★
tyy0731: 金币+1, ★有帮助 2015-08-28 18:24:44
引用回帖:
7楼: Originally posted by tyy0731 at 2015-08-19 13:37:29
哦，我用光刻蚀刻可以吗？...

不行的，RIE是把pdms和玻璃表面的化学键打断，然后把他们压在一起，这样就不漏水了

[ 发自小木虫客户端 ]
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8楼2015-08-19 14:03:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果是玻璃材质，最直接的办法是玻璃和玻璃键合
键合可以是直接键合，也可以是有粘接层的键合，看你的应用了。
至于什么PDMS，什么RIE，很多时候并不适用。
版主不让留信息，你短信我，我给你找个能提供完整解决方案的地方。
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9楼2015-08-19 16:22:31
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tyy0731

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2015-08-19 16:22:31
如果是玻璃材质，最直接的办法是玻璃和玻璃键合
键合可以是直接键合，也可以是有粘接层的键合，看你的应用了。
至于什么PDMS，什么RIE，很多时候并不适用。
版主不让留信息，你短信我，我给你找个能提供完整解决 ...

你好,我的芯片是滑动的，应该是不需要键合的。
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10楼2015-08-19 18:41:15
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