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tyy0731

新虫 (小有名气)

[求助] 求助微流控滑动芯片的制作加工 已有4人参与

请问玻璃基滑动芯片的上下层玻璃如何才能无缝隙,解决注液后无漏液从通道流至其他地方的问题。
下面是我的图。请多指教!

求助微流控滑动芯片的制作加工
IMG_0296.JPG
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tyy0731

新虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by luckyboyyt at 2015-08-19 10:06:59
反应离子束刻蚀

哦,我用光刻蚀刻可以吗?
7楼2015-08-19 13:37:29
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luckyboyyt

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般方法是pdms+玻璃,接触面分辨用RIE刻蚀

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-08-18 22:48:50
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
tyy0731: 金币+1 2015-08-28 18:25:02
管路不密封可能还是不行的说。单纯靠表面光洁度,就需要有足够的压力来压紧接触面。
3楼2015-08-19 09:07:40
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tyy0731

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by luckyboyyt at 2015-08-18 22:48:50
一般方法是pdms+玻璃,接触面分辨用RIE刻蚀

RIE刻蚀是什么方法?
4楼2015-08-19 09:52:09
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