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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何在SiO2表面制作一层BN
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1600682813

铁虫 (正式写手)

[求助] 如何在SiO2表面制作一层BN 已有1人参与

各位大神，SiO2表面上如何制作一层BN，除了用机械剥离的方法，是否可以用CVD生长的方法大面积生长？请给出具体文献，十分感谢。
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哈哈
1楼 2015-08-15 14:45:24
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xuezhonglang

木虫 (著名写手)
气相沉积

[ 发自小木虫客户端 ]
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蛋求一败，才是牛X
5楼2015-08-17 10:53:20
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irelandlover

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
感谢参与，应助指数 +1
1600682813: 金币+100 2015-08-16 15:48:30
参考一下这几篇文章：
http://www.rle.mit.edu/nmeg/wp-content/uploads/2014/03/pdf98.pdf
http://arxiv.org/ftp/arxiv/papers/1310/1310.1870.pdf
http://arxiv.org/ftp/arxiv/papers/1101/1101.4712.pdf
http://www.nature.com/nnano/jour ... nnano.2010.172.html

楼主是做场效应晶体管研究吗？
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2楼2015-08-16 12:51:08
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1600682813

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by irelandlover at 2015-08-16 12:51:08
参考一下这几篇文章：
http://www.rle.mit.edu/nmeg/wp-content/uploads/2014/03/pdf98.pdf
http://arxiv.org/ftp/arxiv/papers/1310/1310.1870.pdf
http://arxiv.org/ftp/arxiv/papers/1101/1101.4712.pdf
htt ...

Thanks a lot！100 金币都给你！
我不是做GFET的，做传感器~
这位仁兄的专业领域写着控制理论与控制工程，不会也是跟我一样本科学控制，硕士做器件（偏MEMS，微电子）的吧？
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哈哈
3楼2015-08-16 15:45:38
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irelandlover

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 1600682813 at 2015-08-16 15:45:38
Thanks a lot！100 金币都给你！
我不是做GFET的，做传感器~
这位仁兄的专业领域写着控制理论与控制工程，不会也是跟我一样本科学控制，硕士做器件（偏MEMS，微电子）的吧？...

本科微电子
硕士读的计算机，控制科学那个  一言难尽。
给这么多分 受宠若惊啊！  谢谢啦，希望以后能多多交流。
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4楼2015-08-16 19:16:36
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