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1600682813

铁虫 (正式写手)

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[求助] 如何在SiO2表面制作一层BN 已有1人参与

各位大神，SiO2表面上如何制作一层BN，除了用机械剥离的方法，是否可以用CVD生长的方法大面积生长？请给出具体文献，十分感谢。

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哈哈

1楼 2015-08-15 14:45:24

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irelandlover

新虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
感谢参与，应助指数 +1
1600682813: 金币+100 2015-08-16 15:48:30

参考一下这几篇文章：
http://www.rle.mit.edu/nmeg/wp-content/uploads/2014/03/pdf98.pdf
http://arxiv.org/ftp/arxiv/papers/1310/1310.1870.pdf
http://arxiv.org/ftp/arxiv/papers/1101/1101.4712.pdf
http://www.nature.com/nnano/jour ... nnano.2010.172.html

楼主是做场效应晶体管研究吗？

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2楼2015-08-16 12:51:08

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1600682813

铁虫 (正式写手)

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专业: 控制理论与方法

引用回帖:

2楼: Originally posted by irelandlover at 2015-08-16 12:51:08
参考一下这几篇文章：
http://www.rle.mit.edu/nmeg/wp-content/uploads/2014/03/pdf98.pdf
http://arxiv.org/ftp/arxiv/papers/1310/1310.1870.pdf
http://arxiv.org/ftp/arxiv/papers/1101/1101.4712.pdf
htt ...

Thanks a lot！100 金币都给你！
我不是做GFET的，做传感器~
这位仁兄的专业领域写着控制理论与控制工程，不会也是跟我一样本科学控制，硕士做器件（偏MEMS，微电子）的吧？

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哈哈

3楼2015-08-16 15:45:38

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irelandlover

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by 1600682813 at 2015-08-16 15:45:38
Thanks a lot！100 金币都给你！
我不是做GFET的，做传感器~
这位仁兄的专业领域写着控制理论与控制工程，不会也是跟我一样本科学控制，硕士做器件（偏MEMS，微电子）的吧？...

本科微电子
硕士读的计算机，控制科学那个一言难尽。
给这么多分受宠若惊啊！谢谢啦，希望以后能多多交流。