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SU-8干膜光科教与玻璃贴附性能问题 已有2人参与
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各种大神好,我最近需要在玻璃上做微阵列的新片,圆点直径500um,阵列圆点间距为1mm。使用200um厚的SU-8干膜,用覆膜机贴在玻璃上。显影的时候已经很小心了,但还是随便一下干膜就脱离玻璃了。玻璃已经用piranha洗过了~ 请问有没有什么好的方法能够防止SU-8的脱落。或者说,是不是SU-8干膜这种贴附方式本身就容易脱落~ 求教!!!~~~ ![]() ![]() |
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4楼2015-08-18 13:37:16
3楼2015-08-13 19:39:27















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