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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU-8干膜光科教与玻璃贴附性能问题
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nino纯

新虫 (初入文坛)

[求助] SU-8干膜光科教与玻璃贴附性能问题 已有2人参与

各种大神好，我最近需要在玻璃上做微阵列的新片，圆点直径500um，阵列圆点间距为1mm。使用200um厚的SU-8干膜，用覆膜机贴在玻璃上。显影的时候已经很小心了，但还是随便一下干膜就脱离玻璃了。玻璃已经用piranha洗过了～
请问有没有什么好的方法能够防止SU-8的脱落。或者说，是不是SU-8干膜这种贴附方式本身就容易脱落～
求教！！！～～～
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1楼 2015-08-11 23:21:24
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:25:47
本帖内容被屏蔽
4楼2015-08-18 13:37:16
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nino纯

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-08-12 09:58:11
上HDMS，看看能否改善。就是这东东对精子有杀伤

HDMS是啥＝ ＝  求教！！！
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3楼2015-08-13 19:39:27
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