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SU-8干膜光科教与玻璃贴附性能问题 已有2人参与
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各种大神好，我最近需要在玻璃上做微阵列的新片，圆点直径500um，阵列圆点间距为1mm。使用200um厚的SU-8干膜，用覆膜机贴在玻璃上。显影的时候已经很小心了，但还是随便一下干膜就脱离玻璃了。玻璃已经用piranha洗过了～ 请问有没有什么好的方法能够防止SU-8的脱落。或者说，是不是SU-8干膜这种贴附方式本身就容易脱落～ 求教！！！～～～  |
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