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mao1643金虫 (初入文坛)
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ITO ATO靶材溅射 已有2人参与
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| ITO ATO靶材能否偏压溅射 |
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 薄膜制备与特性 |
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y13864816103
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【答案】应助回帖
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可以参考这个课题组做的IT-ATO薄膜和功能光学纳米颗粒复合的文章。里面有讲溅射参数等对薄膜的影响。 http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0169433211001887 http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0272884212001150 |
4楼2015-08-14 11:05:44
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
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2楼2015-08-12 23:22:13
mao1643
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3楼2015-08-13 15:50:14
mao1643
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5楼2015-08-14 16:34:03
