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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » ITO ATO靶材溅射
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mao1643

金虫 (初入文坛)

[求助] ITO ATO靶材溅射 已有2人参与

ITO ATO靶材能否偏压溅射
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薄膜制备与特性

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1楼 2015-08-11 09:43:38
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mao1643: 金币+5, ★有帮助 2015-08-15 18:46:09
yo can.  bias will effect your films
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2楼2015-08-12 23:22:13
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mao1643

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2015-08-12 23:22:13
yo can.  bias will effect your films

看不懂啊，前辈
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3楼2015-08-13 15:50:14
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y13864816103

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

可以参考这个课题组做的IT-ATO薄膜和功能光学纳米颗粒复合的文章。里面有讲溅射参数等对薄膜的影响。
http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0169433211001887
http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0272884212001150
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4楼2015-08-14 11:05:44
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mao1643

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by y13864816103 at 2015-08-14 11:05:44
可以参考这个课题组做的IT-ATO薄膜和功能光学纳米颗粒复合的文章。里面有讲溅射参数等对薄膜的影响。
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0169433211001887
http://www.sciencedirect.com/scienc ...

好的，谢谢
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5楼2015-08-14 16:34:03
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
靶材的质量会影响到偏压或者是电压的大小，甚至会使偏压不稳定，抖动。这方面可以讨论讨论哦，需要就私聊
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用绳命来搞科研
6楼2015-10-26 16:00:44
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