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单面抛光的InP磷化铟片子在甩光刻胶之前如何清洗呀？ 已有1人参与
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单面抛光的InP磷化铟片子在甩光刻胶之前如何清洗呀？ 我们用的用的acetone-IPA-alcohol-DI清洗的片子，但是甩胶的效果很差，就算把片子甩胶了有点花里胡哨的感觉。 我在想，是不是因为InP与光刻胶的浸润性有关？如何改变InP表面的亲疏水性？ 网上有利用NH4OH去掉InP的native oxide layer。我试了，看到片子的光泽明显降低。 现在不知怎么处理啦！按说新买的片子是取出就可以用的，但是我们这边还要在清洗一遍。。  |
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