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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 单面抛光的InP磷化铟片子在甩光刻胶之前如何清洗呀？
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孤子游侠

银虫 (小有名气)

[求助] 单面抛光的InP磷化铟片子在甩光刻胶之前如何清洗呀？ 已有1人参与

单面抛光的InP磷化铟片子在甩光刻胶之前如何清洗呀？
我们用的用的acetone-IPA-alcohol-DI清洗的片子，但是甩胶的效果很差，就算把片子甩胶了有点花里胡哨的感觉。
我在想，是不是因为InP与光刻胶的浸润性有关？如何改变InP表面的亲疏水性？
网上有利用NH4OH去掉InP的native oxide layer。我试了，看到片子的光泽明显降低。
现在不知怎么处理啦！按说新买的片子是取出就可以用的，但是我们这边还要在清洗一遍。。
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为奋斗而来
1楼 2015-08-06 16:10:59
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 孤子游侠 at 2015-08-06 18:05:56
等离子体活化是实验室能做，也咨询过国外同行，也是这个工艺，我只想问一下，除了这个之外还有没有其他湿法处理片子的技术？...

不知道是不是你理解的有偏差，等离子表面处理技术工艺很简单，把你的样品放在真空舱体内部，几分钟就可以，拿出来就可以进行接下来的实验了。

至于湿法处理工艺，听过硅烷化反应，还有用含有大量表面活性剂的溶液进行浸泡等等。
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4楼2015-08-07 09:06:08
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
孤子游侠: 金币+10, ★有帮助, 谢谢你的评论，忘记介绍了等离子体表面活化了，实验室能做，就是有点麻烦。 2015-08-06 18:03:15
如果单单拿出你想要的清洗和亲疏水的效果，那么这两者加起来就是等离子清洗机的常用功能了。

等离子清洗机用空气、氮气、甲烷、氩气等等作为气源，在真空状态下进行辉光放电，将气源变成等离子态，作用到物体表面，进行超洁净清洗，同时可以提高表面的活化能，增加亲水性。

有需要私信我啊，或者留下你的扣扣。
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2楼2015-08-06 16:47:06
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孤子游侠

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 石银东 at 2015-08-06 16:47:06
如果单单拿出你想要的清洗和亲疏水的效果，那么这两者加起来就是等离子清洗机的常用功能了。

等离子清洗机用空气、氮气、甲烷、氩气等等作为气源，在真空状态下进行辉光放电，将气源变成等离子态，作用到物体表面 ...

等离子体活化是实验室能做，也咨询过国外同行，也是这个工艺，我只想问一下，除了这个之外还有没有其他湿法处理片子的技术？
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为奋斗而来
3楼2015-08-06 18:05:56
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