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Ti靶材问题请教。
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Billy_Wang
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Ti靶材问题请教。
已有1人参与
大家好,请问一下,我的Ti靶材表面局部出现很多孔洞,这是什么问题?注:Ti是磁控溅射用,孔洞处的Ti厚度为4mm左右,以前厚度2mm都没问题。
IMG_20150805_134420.jpg
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1楼
2015-08-06 15:16:40
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5楼
:
Originally posted by
Billy_Wang
at 2015-08-12 08:51:26
金相分析,晶粒平均粒度为8μm,EDS分析,没有杂质元素。是不是在使用过程中,由于局部区域溅射的比较厉害,Ti厚度的减小的比较快,在外部应力的作用下,将靶材撕裂。...
那有氧化物夹杂吗?EDS分析可能对氧化物的分析不行的。
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6楼
2015-08-12 11:54:55
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peterflyer
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【答案】应助回帖
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2015-08-07 08:50:23
楼主的是纯钛靶材还是钛合金靶材?钛靶材一般的坯料有电子束真空冶炼铸造的和粉末冶金的两种。看这裂纹的样子,这应该是靶材制作方面的问题。怀疑这是粉末冶金坯料在该区域混入了杂质并且聚集在了一起,在随后的各种加工过程中产生了裂纹。而且生产商也未进行无损探伤处理就交货了。这是典型的偷工减料行为。
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2楼
2015-08-06 19:11:34
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2楼
:
Originally posted by
peterflyer
at 2015-08-06 19:11:34
楼主的是纯钛靶材还是钛合金靶材?钛靶材一般的坯料有电子束真空冶炼铸造的和粉末冶金的两种。看这裂纹的样子,这应该是靶材制作方面的问题。怀疑这是粉末冶金坯料在该区域混入了杂质并且聚集在了一起,在随后的各种 ...
这是纯Ti的,那是不是应该对改区域做元素分析?我们这有无损检测,不过是检测是否焊合?杂质也能检测出来?
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3楼
2015-08-07 08:52:46
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3楼
:
Originally posted by
Billy_Wang
at 2015-08-07 08:52:46
这是纯Ti的,那是不是应该对改区域做元素分析?我们这有无损检测,不过是检测是否焊合?杂质也能检测出来?...
取样先看看金相组织,然后再分析一下化学成份。再用无损检测手段看看其他地方有无问题。
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4楼
2015-08-07 09:45:51
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