应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 冶金 » Ti靶材问题请教。
81/1返回列表
查看: 1599  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)

[求助] Ti靶材问题请教。 已有1人参与

大家好，请问一下，我的Ti靶材表面局部出现很多孔洞，这是什么问题？注:Ti是磁控溅射用，孔洞处的Ti厚度为4mm左右，以前厚度2mm都没问题。

Ti靶材问题请教。
IMG_20150805_134420.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Go!
1楼 2015-08-06 15:16:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Billy_Wang: 金币+5, ★有帮助 2015-08-07 08:50:23
楼主的是纯钛靶材还是钛合金靶材？钛靶材一般的坯料有电子束真空冶炼铸造的和粉末冶金的两种。看这裂纹的样子，这应该是靶材制作方面的问题。怀疑这是粉末冶金坯料在该区域混入了杂质并且聚集在了一起，在随后的各种加工过程中产生了裂纹。而且生产商也未进行无损探伤处理就交货了。这是典型的偷工减料行为。
赞一下 回复此楼
2楼2015-08-06 19:11:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-06 19:11:34
楼主的是纯钛靶材还是钛合金靶材？钛靶材一般的坯料有电子束真空冶炼铸造的和粉末冶金的两种。看这裂纹的样子，这应该是靶材制作方面的问题。怀疑这是粉末冶金坯料在该区域混入了杂质并且聚集在了一起，在随后的各种 ...

这是纯Ti的，那是不是应该对改区域做元素分析？我们这有无损检测，不过是检测是否焊合？杂质也能检测出来？
赞一下 回复此楼
Go!
3楼2015-08-07 08:52:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by Billy_Wang at 2015-08-07 08:52:46
这是纯Ti的，那是不是应该对改区域做元素分析？我们这有无损检测，不过是检测是否焊合？杂质也能检测出来？...

取样先看看金相组织，然后再分析一下化学成份。再用无损检测手段看看其他地方有无问题。
赞一下 回复此楼
4楼2015-08-07 09:45:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-07 09:45:51
取样先看看金相组织，然后再分析一下化学成份。再用无损检测手段看看其他地方有无问题。...

金相分析，晶粒平均粒度为8μm，EDS分析，没有杂质元素。是不是在使用过程中，由于局部区域溅射的比较厉害，Ti厚度的减小的比较快，在外部应力的作用下，将靶材撕裂。
赞一下 回复此楼
Go!
5楼2015-08-12 08:51:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
5楼: Originally posted by Billy_Wang at 2015-08-12 08:51:26
金相分析，晶粒平均粒度为8μm，EDS分析，没有杂质元素。是不是在使用过程中，由于局部区域溅射的比较厉害，Ti厚度的减小的比较快，在外部应力的作用下，将靶材撕裂。...

那有氧化物夹杂吗？EDS分析可能对氧化物的分析不行的。
赞一下 回复此楼
6楼2015-08-12 11:54:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-12 11:54:55
那有氧化物夹杂吗？EDS分析可能对氧化物的分析不行的。...

没有。没测出0元素。
赞一下 回复此楼
Go!
7楼2015-08-13 09:50:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui2eat

银虫 (小有名气)
这个应该是制备工艺的问题，你这是从哪里做的靶材呀？现在国内市场上钛都做的蛮好的了，你这种现象也真是第一次见，太好的运气了。。。换个靶材试试吧
赞一下 回复此楼
8楼2015-09-18 08:52:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Billy_Wang 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿0703化学招61最终排名62化学求调剂 +24 招61排名62 2026-04-07 28/1400 2026-04-10 16:15 by yx54321
[考研] 080500求调剂 +14 黄宇博 2026-04-06 14/700 2026-04-10 13:09 by vgtyfty
[考研] 求调剂 材料与工程 324分 专硕 +19 翩翩一书生 2026-04-10 21/1050 2026-04-10 11:41 by wp06
[考研] 一志愿211 0703化学 346分求调剂 +22 土豆er? 2026-04-09 23/1150 2026-04-10 10:58 by 高维春
[考研] 一志愿中南大学物理学，英一66，求调剂 +4 长烟旖旎 2026-04-08 5/250 2026-04-10 10:31 by 颖果儿
[考研] 环境专硕调剂 +16 会说话的肘子 2026-04-06 16/800 2026-04-10 10:30 by asy1wn
[考研] 化工调剂求导师收留！一志愿失利，踏实肯干，有植物提取科研经历 +17 yzyzx 2026-04-09 17/850 2026-04-10 10:29 by wp06
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +20 慕绝cc 2026-04-09 24/1200 2026-04-10 10:22 by xujun0624
[考研] 085601初试330分找调剂 +10 流心奶黄包l 2026-04-09 10/500 2026-04-10 08:14 by Sammy2
[考研] 材料工程调剂 +12 小刘同学吖吖 2026-04-06 13/650 2026-04-09 17:07 by luoyongfeng
[考研] 085404，334分，求调剂 +5 sunjie8888 2026-04-08 8/400 2026-04-09 07:26 by sunjie8888
[考研] 一志愿985初试354分生物调剂 +3 031001 2026-04-06 3/150 2026-04-09 00:30 by Evan_Liu
[考研] 求调剂 +11 wwwwabcde 2026-04-07 11/550 2026-04-07 23:16 by JourneyLucky
[考研] 22408 318分求调剂 +4 勤奋的小笼包 2026-04-06 6/300 2026-04-07 15:05 by 纸鹤555
[考研] 081700，311，求调剂 +17 冬十三 2026-04-04 18/900 2026-04-07 12:50 by Sammy2
[考研] 302分求调剂 一志愿安徽大学085601 +12 zyx上岸！ 2026-04-04 12/600 2026-04-07 02:09 by BruceLiu320
[考研] 工科求调剂 +15 11ggg 2026-04-03 15/750 2026-04-05 16:24 by zzx2138
[考研] 一志愿上海海洋大学083200食品学硕，求调剂，接受其他专业083200 +4 what张 2026-04-04 5/250 2026-04-05 14:07 by chw1980_0
[考研] 353求调剂 +10 MayUxw1 2026-04-03 10/500 2026-04-05 09:23 by 无际的草原
[考研] 323求调剂 +8 李佳乐1 2026-04-04 8/400 2026-04-04 22:26 by hemengdong
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭