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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 冶金 » Ti靶材问题请教。
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Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)

[求助] Ti靶材问题请教。 已有1人参与

大家好，请问一下，我的Ti靶材表面局部出现很多孔洞，这是什么问题？注:Ti是磁控溅射用，孔洞处的Ti厚度为4mm左右，以前厚度2mm都没问题。

Ti靶材问题请教。
IMG_20150805_134420.jpg
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1楼 2015-08-06 15:16:40
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Billy_Wang: 金币+5, ★有帮助 2015-08-07 08:50:23
楼主的是纯钛靶材还是钛合金靶材？钛靶材一般的坯料有电子束真空冶炼铸造的和粉末冶金的两种。看这裂纹的样子，这应该是靶材制作方面的问题。怀疑这是粉末冶金坯料在该区域混入了杂质并且聚集在了一起，在随后的各种加工过程中产生了裂纹。而且生产商也未进行无损探伤处理就交货了。这是典型的偷工减料行为。
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2楼2015-08-06 19:11:34
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Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-06 19:11:34
楼主的是纯钛靶材还是钛合金靶材？钛靶材一般的坯料有电子束真空冶炼铸造的和粉末冶金的两种。看这裂纹的样子，这应该是靶材制作方面的问题。怀疑这是粉末冶金坯料在该区域混入了杂质并且聚集在了一起，在随后的各种 ...

这是纯Ti的，那是不是应该对改区域做元素分析？我们这有无损检测，不过是检测是否焊合？杂质也能检测出来？
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3楼2015-08-07 08:52:46
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by Billy_Wang at 2015-08-07 08:52:46
这是纯Ti的，那是不是应该对改区域做元素分析？我们这有无损检测，不过是检测是否焊合？杂质也能检测出来？...

取样先看看金相组织，然后再分析一下化学成份。再用无损检测手段看看其他地方有无问题。
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4楼2015-08-07 09:45:51
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Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-07 09:45:51
取样先看看金相组织，然后再分析一下化学成份。再用无损检测手段看看其他地方有无问题。...

金相分析，晶粒平均粒度为8μm，EDS分析，没有杂质元素。是不是在使用过程中，由于局部区域溅射的比较厉害，Ti厚度的减小的比较快，在外部应力的作用下，将靶材撕裂。
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5楼2015-08-12 08:51:26
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
5楼: Originally posted by Billy_Wang at 2015-08-12 08:51:26
金相分析，晶粒平均粒度为8μm，EDS分析，没有杂质元素。是不是在使用过程中，由于局部区域溅射的比较厉害，Ti厚度的减小的比较快，在外部应力的作用下，将靶材撕裂。...

那有氧化物夹杂吗？EDS分析可能对氧化物的分析不行的。
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6楼2015-08-12 11:54:55
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Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-12 11:54:55
那有氧化物夹杂吗？EDS分析可能对氧化物的分析不行的。...

没有。没测出0元素。
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7楼2015-08-13 09:50:53
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huihui2eat

银虫 (小有名气)
这个应该是制备工艺的问题，你这是从哪里做的靶材呀？现在国内市场上钛都做的蛮好的了，你这种现象也真是第一次见，太好的运气了。。。换个靶材试试吧
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8楼2015-09-18 08:52:41
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