应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 冶金 » Ti靶材问题请教。
81/1返回列表
查看: 1573  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)

[求助] Ti靶材问题请教。 已有1人参与

大家好，请问一下，我的Ti靶材表面局部出现很多孔洞，这是什么问题？注:Ti是磁控溅射用，孔洞处的Ti厚度为4mm左右，以前厚度2mm都没问题。

Ti靶材问题请教。
IMG_20150805_134420.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Go!
1楼 2015-08-06 15:16:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Billy_Wang: 金币+5, ★有帮助 2015-08-07 08:50:23
楼主的是纯钛靶材还是钛合金靶材？钛靶材一般的坯料有电子束真空冶炼铸造的和粉末冶金的两种。看这裂纹的样子，这应该是靶材制作方面的问题。怀疑这是粉末冶金坯料在该区域混入了杂质并且聚集在了一起，在随后的各种加工过程中产生了裂纹。而且生产商也未进行无损探伤处理就交货了。这是典型的偷工减料行为。
赞一下 回复此楼
2楼2015-08-06 19:11:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-06 19:11:34
楼主的是纯钛靶材还是钛合金靶材？钛靶材一般的坯料有电子束真空冶炼铸造的和粉末冶金的两种。看这裂纹的样子，这应该是靶材制作方面的问题。怀疑这是粉末冶金坯料在该区域混入了杂质并且聚集在了一起，在随后的各种 ...

这是纯Ti的，那是不是应该对改区域做元素分析？我们这有无损检测，不过是检测是否焊合？杂质也能检测出来？
赞一下 回复此楼
Go!
3楼2015-08-07 08:52:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by Billy_Wang at 2015-08-07 08:52:46
这是纯Ti的，那是不是应该对改区域做元素分析？我们这有无损检测，不过是检测是否焊合？杂质也能检测出来？...

取样先看看金相组织，然后再分析一下化学成份。再用无损检测手段看看其他地方有无问题。
赞一下 回复此楼
4楼2015-08-07 09:45:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-07 09:45:51
取样先看看金相组织，然后再分析一下化学成份。再用无损检测手段看看其他地方有无问题。...

金相分析，晶粒平均粒度为8μm，EDS分析，没有杂质元素。是不是在使用过程中，由于局部区域溅射的比较厉害，Ti厚度的减小的比较快，在外部应力的作用下，将靶材撕裂。
赞一下 回复此楼
Go!
5楼2015-08-12 08:51:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
5楼: Originally posted by Billy_Wang at 2015-08-12 08:51:26
金相分析，晶粒平均粒度为8μm，EDS分析，没有杂质元素。是不是在使用过程中，由于局部区域溅射的比较厉害，Ti厚度的减小的比较快，在外部应力的作用下，将靶材撕裂。...

那有氧化物夹杂吗？EDS分析可能对氧化物的分析不行的。
赞一下 回复此楼
6楼2015-08-12 11:54:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Billy_Wang

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2015-08-12 11:54:55
那有氧化物夹杂吗？EDS分析可能对氧化物的分析不行的。...

没有。没测出0元素。
赞一下 回复此楼
Go!
7楼2015-08-13 09:50:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui2eat

银虫 (小有名气)
这个应该是制备工艺的问题，你这是从哪里做的靶材呀？现在国内市场上钛都做的蛮好的了，你这种现象也真是第一次见，太好的运气了。。。换个靶材试试吧
赞一下 回复此楼
8楼2015-09-18 08:52:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Billy_Wang 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 296求调剂 +3 www_q 2026-03-18 6/300 2026-03-19 22:28 by zhq0425
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +8 zlingli 2026-03-13 8/400 2026-03-19 16:32 by 轻松不少随
[考研] 324分 085600材料化工求调剂 +3 llllkkkhh 2026-03-18 3/150 2026-03-19 14:22 by houyaoxu
[考研] 求调剂，一志愿:南京航空航天大学大学 ，080500材料科学与工程学硕，总分289分 +3 @taotao 2026-03-19 3/150 2026-03-19 14:07 by peike
[考研] 287求调剂 +3 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-19 12:32 by peike
[考研] 材料080500调剂求收留 +4 一颗meteor 2026-03-13 4/200 2026-03-19 10:32 by 30660438
[考研] 材料专硕英一数二306 +5 z1z2z3879 2026-03-18 5/250 2026-03-19 07:43 by BruceLiu320
[考研] 化学工程321分求调剂 +15 大米饭！ 2026-03-15 18/900 2026-03-18 14:52 by haxia
[考研] 297求调剂 +8 戏精丹丹丹 2026-03-17 8/400 2026-03-18 14:30 by laoshidan
[考研] 0854，计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 299求调剂 +5 △小透明* 2026-03-17 5/250 2026-03-18 11:49 by 尽舜尧1
[考研] 0703化学求调剂 总分331 +3 ZY-05 2026-03-13 3/150 2026-03-18 10:58 by macy2011
[考研] 生物学071000 329分求调剂 +3 我爱生物生物爱� 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:12 by macy2011
[考研] 0703化学336分求调剂 +6 zbzihdhd 2026-03-15 7/350 2026-03-18 09:53 by zhukairuo
[考研] 东南大学364求调剂 +5 JasonYuiui 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:28 by 木瓜膏
[考研] 0854控制工程 359求调剂 可跨专业 +3 626776879 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:42 by 626776879
[考研] 326求调剂 +4 诺贝尔化学奖觊� 2026-03-15 7/350 2026-03-16 17:11 by 诺贝尔化学奖觊�
[基金申请] 今年的国基金是打分制吗？ 50+3 zhanghaozhu 2026-03-14 3/150 2026-03-16 17:07 by 北京莱茵润色
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭