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【求助】薄膜电阻率的测试
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大家好, 我现在的研究课题是采用磁控溅射的方式在单晶硅基片上制备薄膜材料。 相比于块体材料，薄膜材料的性能难测试。 我现在想测薄膜的电阻率，不知道采用四探针的方法能不能测试？还有，对薄膜的尺寸和形状有没要求？ 望各位做薄膜材料的高手赐教  [ Last edited by SHY31 on 2008-8-13 at 16:52 ] |
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