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ifand

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】薄膜电阻率的测试

大家好,
  我现在的研究课题是采用磁控溅射的方式在单晶硅基片上制备薄膜材料。
相比于块体材料,薄膜材料的性能难测试。
  我现在想测薄膜的电阻率,不知道采用四探针的方法能不能测试?还有,对薄膜的尺寸和形状有没要求?
  望各位做薄膜材料的高手赐教

[ Last edited by SHY31 on 2008-8-13 at 16:52 ]
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ifand

银虫 (小有名气)

非常感谢!
3楼2008-08-14 14:39:36
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freyalovers

银虫 (小有名气)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流
四探针测量方阻是国际通用的标准测量方法,对薄膜同样是标准的方法。

在测量时注意,四探针的四个探针是并排排列的,总共宽度大概是1厘米的样子,你的样品必须要大于这个宽度。

得到方阻之后,要测量电阻率你还必须测量出薄膜的厚度,用方阻除以薄膜的厚度就是电阻率。

注意你用的衬底的电阻率,很可能对薄膜电阻率的测量有一定的干扰
2楼2008-08-13 18:01:29
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bluesky238

木虫 (正式写手)

注意样品尽量比四个探针得总距离大多些,否则误差比较大,同时注意测试得是半导体薄膜得话注意欧姆接触得问题
4楼2008-08-14 20:50:05
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