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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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织知

铜虫 (小有名气)


[交流] 表面氧气等离子体刻蚀处理 可以提高光刻胶的粘附性吗

在spin coating之前通常会进行氧气等离子刻蚀的处理 在去除杂质的时候 也会使硅片表面暴露更多的羧基 请问一下这些羧基会有利于光刻胶的粘附吗
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石银东

木虫 (正式写手)



织知(金币+1): 谢谢参与
用纯氧作为气源,进行等离子表面处理,可以达到刻蚀的目的,同时会附带其它的功能,比如让硅片的表面暴露更多的羧基,是有利于后序光刻胶的粘接,这一点是肯定的。

但是有个缺点,你要注意,那就是这种在硅片表面的羧基是不稳定的,时效性非常短,一般来讲也就是十几分钟到半小时的时效性,感兴趣可以留下您的扣扣,交流下。
23楼2015-08-01 08:55:20
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2015-08-01 01:50   回复  
织知(金币+1): 谢谢参与
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