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[交流]
表面氧气等离子体刻蚀处理 可以提高光刻胶的粘附性吗
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| 在spin coating之前通常会进行氧气等离子刻蚀的处理 在去除杂质的时候 也会使硅片表面暴露更多的羧基 请问一下这些羧基会有利于光刻胶的粘附吗 |
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