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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » ICP刻蚀时CH4、H2和InP有反应吗？
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gongyanni

新虫 (初入文坛)

[求助] ICP刻蚀时CH4、H2和InP有反应吗？ 已有1人参与

刚开始接触这个领域，想问一下有没有虫友知道在ICP刻蚀过程中，CH4和H2是怎么和InP发生作用的？CH4是不是主要是化学作用？看了文献也没找相关的反应原理。所以求助各位虫友。另外，不知道有没有比较经典的文献推荐。先谢谢各位了！
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1楼 2015-07-27 12:33:55
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lp806376231

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
gongyanni: 金币+3, ★★★很有帮助 2015-11-19 13:56:42
CH4的确是化学作用，生成(CH3)In产物，H2是物理刻蚀作用。
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科研就是要创新
2楼2015-10-23 17:35:18
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