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ICP刻蚀时CH4、H2和InP有反应吗？ 已有1人参与
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| 刚开始接触这个领域，想问一下有没有虫友知道在ICP刻蚀过程中，CH4和H2是怎么和InP发生作用的？CH4是不是主要是化学作用？看了文献也没找相关的反应原理。所以求助各位虫友。另外，不知道有没有比较经典的文献推荐。先谢谢各位了！ |
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2楼2015-10-23 17:35:18
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