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CHN1314

金虫 (正式写手)

[求助] 需要用扫描电镜的能谱仪测薄膜成分,但成分中含氧 已有3人参与

知道氧是测不准的,为了确定两种薄膜——氧化铝和氧化锆薄膜的成分,需要找到氧化锆和氧化铝的标样,现在手头上有两种物质的粉末,我想问用氧化锆和氧化铝粉末做标样可以吗,会不会误差很大
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
据说现在最先进的EDS能谱仪分辨率可达124电子伏特,对氧的测量误差可在1%以内,若有这样的仪器测氧含量就不成问题了。实在不行的话,可用氧氮分析仪测量氧含量。
2楼2015-07-25 15:32:43
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CHN1314

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-07-25 15:32:43
据说现在最先进的EDS能谱仪分辨率可达124电子伏特,对氧的测量误差可在1%以内,若有这样的仪器测氧含量就不成问题了。实在不行的话,可用氧氮分析仪测量氧含量。

现在只有普通的能谱仪,想通过标样对比,就是问一下粉末做标样靠谱不,并没有其他你说的那些设备
3楼2015-07-25 20:23:42
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
还没听说过SEM用的标样呢,薄膜的话你可以做XPS试试
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
4楼2015-07-25 21:42:30
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-07-25 15:32:43
据说现在最先进的EDS能谱仪分辨率可达124电子伏特,对氧的测量误差可在1%以内,若有这样的仪器测氧含量就不成问题了。实在不行的话,可用氧氮分析仪测量氧含量。

这是公司的理论值,只对标准样品有用的,对O这种元素,这么容易受到干扰,再好的能谱仪做实际样品也很难达到这个精度要求的
5楼2015-07-26 12:57:45
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雨蒙1314

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感觉楼上说的很对啊,为什么不用xps呢,我们公司就是啊,sem没做过类似的
6楼2015-07-29 20:35:42
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