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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 需要用扫描电镜的能谱仪测薄膜成分，但成分中含氧
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CHN1314

金虫 (正式写手)

[求助] 需要用扫描电镜的能谱仪测薄膜成分，但成分中含氧 已有3人参与

知道氧是测不准的，为了确定两种薄膜——氧化铝和氧化锆薄膜的成分，需要找到氧化锆和氧化铝的标样，现在手头上有两种物质的粉末，我想问用氧化锆和氧化铝粉末做标样可以吗，会不会误差很大
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1楼 2015-07-25 12:45:18
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
据说现在最先进的EDS能谱仪分辨率可达124电子伏特，对氧的测量误差可在1%以内，若有这样的仪器测氧含量就不成问题了。实在不行的话，可用氧氮分析仪测量氧含量。
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2楼2015-07-25 15:32:43
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CHN1314

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-07-25 15:32:43
据说现在最先进的EDS能谱仪分辨率可达124电子伏特，对氧的测量误差可在1%以内，若有这样的仪器测氧含量就不成问题了。实在不行的话，可用氧氮分析仪测量氧含量。

现在只有普通的能谱仪，想通过标样对比，就是问一下粉末做标样靠谱不，并没有其他你说的那些设备
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3楼2015-07-25 20:23:42
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
还没听说过SEM用的标样呢，薄膜的话你可以做XPS试试
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
4楼2015-07-25 21:42:30
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-07-25 15:32:43
据说现在最先进的EDS能谱仪分辨率可达124电子伏特，对氧的测量误差可在1%以内，若有这样的仪器测氧含量就不成问题了。实在不行的话，可用氧氮分析仪测量氧含量。

这是公司的理论值，只对标准样品有用的，对O这种元素，这么容易受到干扰，再好的能谱仪做实际样品也很难达到这个精度要求的
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5楼2015-07-26 12:57:45
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雨蒙1314

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感觉楼上说的很对啊，为什么不用xps呢，我们公司就是啊，sem没做过类似的
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6楼2015-07-29 20:35:42
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