| 查看: 3036 | 回复: 1 | |||
[交流]
叉指电极参数选择
|
| 制作传感器的时候，通常会用到叉指电极。此时就应该考虑叉指电极的参数对器件性能的影响。参数有：指间距（指间距越小，信噪比越高，信号幅越大）；电极厚度（电极厚度越小，产生的电场越大）；电极长宽比（长宽比越大，叉指电极密度越大，初始电阻减小，灵敏度和响应速度提高）。主要就是以上3个参数，除此之外还有电极对数，电极对数对信噪比没有影响。那么问题来了，如果指间距3-6um，指宽10um，20um，则电极厚度选择多厚的？还望有经验的前辈不吝赐教，这方面的文章推荐几篇经典的让我学习一下？ |
回复此楼» 猜你喜欢
一志愿南航机械391分调剂
已经有1人回复
-
求调剂
已经有2人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有201人回复
-
非全博士求助
已经有18人回复
-
IEEE TBME期刊综述投稿周期求助
已经有0人回复
-
为什么旋转测试台跑了几个月，传感器数据开始出现周期性漂移？
已经有0人回复
-
【机械】从机床防水到正压防护：如何解决高精度旋转平台的“进水失准”死局？
已经有0人回复
-
经验分享】涉水/水下实验频频翻车？扒一扒高精度防水转台的硬核密封逻辑
已经有0人回复
-
基金高中！
已经有694人回复
2楼2017-09-13 17:08:52