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叉指电极参数选择
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| 制作传感器的时候,通常会用到叉指电极。此时就应该考虑叉指电极的参数对器件性能的影响。参数有:指间距(指间距越小,信噪比越高,信号幅越大);电极厚度(电极厚度越小,产生的电场越大);电极长宽比(长宽比越大,叉指电极密度越大,初始电阻减小,灵敏度和响应速度提高)。主要就是以上3个参数,除此之外还有电极对数,电极对数对信噪比没有影响。那么问题来了,如果指间距3-6um,指宽10um,20um,则电极厚度选择多厚的?还望有经验的前辈不吝赐教,这方面的文章推荐几篇经典的让我学习一下? |
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2楼2017-09-13 17:08:52












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