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叉指电极参数选择
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| 制作传感器的时候，通常会用到叉指电极。此时就应该考虑叉指电极的参数对器件性能的影响。参数有：指间距（指间距越小，信噪比越高，信号幅越大）；电极厚度（电极厚度越小，产生的电场越大）；电极长宽比（长宽比越大，叉指电极密度越大，初始电阻减小，灵敏度和响应速度提高）。主要就是以上3个参数，除此之外还有电极对数，电极对数对信噪比没有影响。那么问题来了，如果指间距3-6um，指宽10um，20um，则电极厚度选择多厚的？还望有经验的前辈不吝赐教，这方面的文章推荐几篇经典的让我学习一下？ |
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2楼2017-09-13 17:08:52