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学习娃子

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜下面溅射有电极,会影响四探针测试电阻率吗? 已有1人参与

我做的是PZT/Pt/Si薄膜,想用四探针测试一下PZT薄膜的电阻率,用四探针准确吗?测得会不会是薄膜纵向的电阻率,也就是两层薄膜的串联电阻率啊
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玖辛奈

铜虫 (初入文坛)

3楼2016-03-02 16:34:55
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
学习娃子: 金币+30, ★★★很有帮助 2015-07-23 15:58:08
一定会影响的,测得的电阻率偏小了,很多
已经偏离了四探针的测试原理太多了
2楼2015-07-20 22:11:05
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