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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 薄膜下面溅射有电极，会影响四探针测试电阻率吗？
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学习娃子

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜下面溅射有电极，会影响四探针测试电阻率吗？ 已有1人参与

我做的是PZT/Pt/Si薄膜，想用四探针测试一下PZT薄膜的电阻率，用四探针准确吗？测得会不会是薄膜纵向的电阻率，也就是两层薄膜的串联电阻率啊
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1楼 2015-07-20 14:22:40
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
学习娃子: 金币+30, ★★★很有帮助 2015-07-23 15:58:08
一定会影响的，测得的电阻率偏小了，很多
已经偏离了四探针的测试原理太多了
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2楼2015-07-20 22:11:05
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玖辛奈

铜虫 (初入文坛)
请问您的电极是怎么做的？

发自小木虫Android客户端
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3楼2016-03-02 16:34:55
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