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薄膜下面溅射有电极，会影响四探针测试电阻率吗？已有1人参与
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我做的是PZT/Pt/Si薄膜，想用四探针测试一下PZT薄膜的电阻率，用四探针准确吗？测得会不会是薄膜纵向的电阻率，也就是两层薄膜的串联电阻率啊 |
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