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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在Cu基体上镀10um厚度单质Si膜（CVD或者溅射等方法）
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yangleelgnay

铁虫 (初入文坛)

[求助] 在Cu基体上镀10um厚度单质Si膜（CVD或者溅射等方法） 已有1人参与

想在抛光后的Cu基底上镀10um厚度以上的单质Si膜，要求Si膜表面的粗糙度比较小。目前用磁控溅射只能做到数百nm的厚度，想再做厚一点，所以考虑CVD，或者有更好的方法么？请教各位哪里可以制备？如果有联系方式更好啦，如涉及到隐私可以站内给我哈，谢谢~
第一次发帖，如有不妥之处，请指正。
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1楼 2015-07-20 10:28:41
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yangleelgnay

铁虫 (初入文坛)
为啥没人理我
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2楼2015-07-21 13:32:23
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kit yourself

木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我来帮楼主顶下，聚聚人气
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3楼2015-07-21 14:30:57
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yangleelgnay

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kit yourself at 2015-07-21 14:30:57
我来帮楼主顶下，聚聚人气

谢谢
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4楼2015-07-21 21:06:26
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2015-07-23 20:59:22
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