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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 金属表层元素浓度分析
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para_popbean

新虫 (正式写手)

[求助] 金属表层元素浓度分析 已有3人参与

在金属表面有一层很薄的表面层，大约5-10μm，表层元素大约有Fe  Cr Ni Si Mn C 等，我想分析由表面到内部的元素浓度分布。目前做了一个EDS线扫描和点分析，但是有一个问题，其中Fe 等浓度较大的元素很有规律，能分析出来。但是Mn 、Si 等元素浓度一般小于10%（甚至小于5%），EDS只能定性分析，使用EDS没有办法表征这些元素的浓度变化规律。
我想问问各位大神，有没有什么好办法能够 很好的表征 这些少量元素的浓度变化规律？最好能能像线扫描一样有一个连续的规律。
另外我看EDS上Fe 峰和Mn 的峰很接近但不重叠，由于两者浓度差异大，Mn峰有没有可能被掩盖，导致分析结果更加不准确？
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1楼 2015-07-19 21:31:14
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gyp1989

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
表层元素深度分布检测方法：
SIMS，RBS，GD-MS，GD-OES，EPMA，其中SIMS的检测精度最高，可定量到PPM级别，但是检测区域小，价格昂贵，如果你只是要定性分析的话，可选择GD-OES，这设备检测区域相对较大（直径1~8mm），而且速度快，价格比其它方法要便宜，比做SEM样品稍贵点，只是国内有这台设备的单位比较少，其它方法你也可以查下
赞一下 回复此楼
哈哈，嘿嘿，呼噜呼噜~
4楼2015-07-20 10:28:16
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小偷爸爸

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不知道俄些能谱，或者xps能行不？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2015-07-20 00:14:01
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luru1987

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做个电子探针？或者XPS？
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mess
3楼2015-07-20 09:23:30
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