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para_popbean

新虫 (正式写手)

[求助] 金属表层元素浓度分析 已有3人参与

在金属表面有一层很薄的表面层,大约5-10μm,表层元素大约有Fe  Cr Ni Si Mn C 等,我想分析由表面到内部的元素浓度分布。目前做了一个EDS线扫描和点分析,但是有一个问题,其中Fe 等浓度较大的元素很有规律,能分析出来。但是Mn 、Si 等元素浓度一般小于10%(甚至小于5%),EDS只能定性分析,使用EDS没有办法表征这些元素的浓度变化规律。
我想问问各位大神,有没有什么好办法能够 很好的表征 这些少量元素的浓度变化规律?最好能能像线扫描一样有一个连续的规律。
另外我看EDS上Fe 峰和Mn 的峰很接近但不重叠,由于两者浓度差异大,Mn峰有没有可能被掩盖,导致分析结果更加不准确?
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luru1987

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做个电子探针?或者XPS?
mess
3楼2015-07-20 09:23:30
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小偷爸爸

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不知道俄些能谱,或者xps能行不?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2015-07-20 00:14:01
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gyp1989

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
表层元素深度分布检测方法:
SIMS,RBS,GD-MS,GD-OES,EPMA,其中SIMS的检测精度最高,可定量到PPM级别,但是检测区域小,价格昂贵,如果你只是要定性分析的话,可选择GD-OES,这设备检测区域相对较大(直径1~8mm),而且速度快,价格比其它方法要便宜,比做SEM样品稍贵点,只是国内有这台设备的单位比较少,其它方法你也可以查下
哈哈,嘿嘿,呼噜呼噜~
4楼2015-07-20 10:28:16
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