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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】FE-SEM比一般的SEM的区别和进步表现在什么地方呢？
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zhoukoulk

木虫 (著名写手)

科研宝库学术委员

[交流] 【请教】FE-SEM比一般的SEM的区别和进步表现在什么地方呢？

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1楼 2008-08-05 20:03:07
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huanghefirst

金虫 (著名写手)
如果你没有设置金币数目，我会认真给你回答。
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2楼2008-08-05 21:38:06
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
简单来说，FESEM的分辨率更高，因为电子源更高级
期待楼上更认真的解答，呵呵
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江湖背影
3楼2008-08-12 16:52:05
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aerowonder

木虫 (小有名气)
ls是lu yw? pm出身？
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4楼2008-08-13 18:25:09
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bluern

木虫 (著名写手)

。。。。

我就知道图像更清晰！
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5楼2008-08-14 10:35:01
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temedx

专家顾问 (著名写手)
★
caosw2001(金币+1,VIP+0):谢谢参与
1. 高分辨率：因为场发射枪的电子束斑更小更稳定，如果知道SEM是以电子束的斑点逐点逐行扫描得到二次电子的图像，那么就知道束斑的小和稳定对于分辨率多重要，目前场发射分辨率已经能到0.4 nm，而普通钨灯丝也就3 nm左右。
2. 低电压观察：因为具有比钨灯丝高10000的高亮度，即使在低电压下也有很好的稳定性和足够的电子发射，对于易损样品来说，可以放到很低的电压下观察而不破坏原始形貌。
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Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
6楼2008-08-14 11:02:14
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odoo

金虫 (初入文坛)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢您的答复^_^
最关键的是FESEM是采用的冷阴极，而钨丝灯采用的是热灯丝。这样以来从冷阴极发出来的电子的热运动导致的多普勒效应就小很多，电子的能量分布相对于钨丝灯的就更集中。也就是说冷阴极发射出来的电子的波长不确定度小，只有减小了波长的不确定度，才能获得更好的聚焦，更高的分辨率。
重点就在FESEM使用的是冷阴极、而非热阴极。使用冷阴极是一大进步
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http://geekyang.spaces.live.com vmbn.cy@gmail.com [GTalk可用]
7楼2008-08-31 15:12:48
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temedx

专家顾问 (著名写手)
中科大的？受教了！
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Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
8楼2008-08-31 18:20:33
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odoo

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by temedx at 2008-8-31 18:20:
中科大的？受教了！

是的。现在大四了。
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http://geekyang.spaces.live.com vmbn.cy@gmail.com [GTalk可用]
9楼2008-08-31 22:55:10
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