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zhoukoulk

木虫 (著名写手)

科研宝库学术委员

[交流] 【请教】FE-SEM比一般的SEM的区别和进步表现在什么地方呢?

问题如题目
谢谢!
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temedx

专家顾问 (著名写手)


caosw2001(金币+1,VIP+0):谢谢参与
1. 高分辨率:因为场发射枪的电子束斑更小更稳定,如果知道SEM是以电子束的斑点逐点逐行扫描得到二次电子的图像,那么就知道束斑的小和稳定对于分辨率多重要,目前场发射分辨率已经能到0.4 nm,而普通钨灯丝也就3 nm左右。
2. 低电压观察:因为具有比钨灯丝高10000的高亮度,即使在低电压下也有很好的稳定性和足够的电子发射,对于易损样品来说,可以放到很低的电压下观察而不破坏原始形貌。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
6楼2008-08-14 11:02:14
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huanghefirst

金虫 (著名写手)

如果你没有设置金币数目,我会认真给你回答。
2楼2008-08-05 21:38:06
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟

简单来说,FESEM的分辨率更高,因为电子源更高级
期待楼上更认真的解答,呵呵
江湖背影
3楼2008-08-12 16:52:05
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aerowonder

木虫 (小有名气)

ls是lu yw? pm出身?
4楼2008-08-13 18:25:09
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