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llyj83

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】50~100nm的硅层是否透光?

50~100nm的硅层是否透光?

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-8-5 at 23:28 ]
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llyj83

银虫 (小有名气)

硅层是用CVD法沉积得到的,不知道有没有晶形
5楼2008-08-05 16:00:08
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stardom427

木虫 (著名写手)

对长波段是透光的。。。。
2楼2008-08-05 15:49:42
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llyj83

银虫 (小有名气)

先谢了。我需要300nm以上的光透过,50nm的硅层是不是太厚了
3楼2008-08-05 15:53:10
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stardom427

木虫 (著名写手)

按道理来讲,这还要看硅的晶态。。。
300nm我想应该能透过(刚开始以为50-100微米的呢)
4楼2008-08-05 15:56:55
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