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蓝宝石衬底1500℃能退火完全吗
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| 双面研磨后的蓝宝石衬底1500℃进行退火后，直接进行抛光，其中warp和bow均有变化，是否能说明退火应力消除不完全呢，还是因为抛光后正反面粗糙度差异再次引起的变形。 |
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