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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】关于紫外光刻 汞灯问题
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zlj4165

银虫 (著名写手)

[交流] 【求助】关于紫外光刻 汞灯问题

当开启电源后，大约20分钟左右，汞灯（365nm）自动熄灭，电源没有断开。有哪位知道的，请指点，谢谢。

说明，由于没有装空调，室内温度大约在35-40度左右。不知道是不是有影响，我的汞灯一共也没有用过几次。不应该是寿命到了。

[ Last edited by caosw2001 on 2008-8-3 at 15:39 ]
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1楼 2008-08-03 14:53:55
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daping2007

金虫 (小有名气)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
汞灯
由于能量较高，在一般情况下可以用电风扇吹的方法降低一些温度
延长灯的使用寿命。
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2楼2008-08-05 21:01:51
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hero3_gpj

金虫 (著名写手)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
同楼上，
365nm 中亚汞灯发热很强的，旁边装个风机吧
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3楼2008-08-06 16:38:41
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zlj4165

银虫 (著名写手)
谢谢楼上的
本来有自带的风扇的，而且有两个。不知道够不够？
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4楼2008-08-07 09:06:26
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zlj4165

银虫 (著名写手)
顶一个，问题还没有解决，请牛人指点
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5楼2008-08-12 09:21:04
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hanwh03

木虫 (小有名气)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
那可能是光刻 汞灯的自我保护
超过一定温度就会熄灭
记得投影仪就有这个问题
质量不好的投影仪夏天工作老自动熄灭

风扇降温应该可行
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6楼2008-08-13 09:06:43
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
如果是汞灯发热造成的问题就应该用氮气冷却的办法，休斯公司的设备是这样做的。
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7楼2008-09-08 15:39:41
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