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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zlj4165

银虫 (著名写手)

[交流] 【求助】关于紫外光刻 汞灯问题

当开启电源后,大约20分钟左右,汞灯(365nm)自动熄灭,电源没有断开。有哪位知道的,请指点,谢谢。

说明,由于没有装空调,室内温度大约在35-40度左右。不知道是不是有影响,我的汞灯一共也没有用过几次。不应该是寿命到了。

[ Last edited by caosw2001 on 2008-8-3 at 15:39 ]
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daping2007

金虫 (小有名气)


大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
汞灯
由于能量较高,在一般情况下可以用电风扇吹的方法降低一些温度
延长灯的使用寿命。
2楼2008-08-05 21:01:51
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hero3_gpj

金虫 (著名写手)


大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
同楼上,
365nm 中亚汞灯发热很强的,旁边装个风机吧
3楼2008-08-06 16:38:41
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zlj4165

银虫 (著名写手)

谢谢楼上的
本来有自带的风扇的,而且有两个。不知道够不够?
4楼2008-08-07 09:06:26
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zlj4165

银虫 (著名写手)

顶一个,问题还没有解决,请牛人指点
5楼2008-08-12 09:21:04
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hanwh03

木虫 (小有名气)


大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
那可能是光刻 汞灯的自我保护
超过一定温度就会熄灭
记得投影仪就有这个问题
质量不好的投影仪夏天工作老自动熄灭

风扇降温应该可行
6楼2008-08-13 09:06:43
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quanbaogang

木虫 (正式写手)


大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
如果是汞灯发热造成的问题就应该用氮气冷却的办法,休斯公司的设备是这样做的。
7楼2008-09-08 15:39:41
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