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beryl9112

铜虫 (初入文坛)

[求助] 在导电硅片上制备P3HT晶体管,导电硅氧化问题

我制作P3HT晶体管,直接买的带有二氧化硅的导电硅片,在上面旋涂P3HT,然后制备源漏极。
制备之前,我会先把硅片二氧化硅的那面保护好,然后清洗导电硅表面。制备之前,导电硅是导电的。
但是导电硅裸露在空气中氧化,测试的时候栅极电阻很大。
请问大家做实验的时候有没有遇到导电硅氧化的问题?具体是怎么处理的?
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缘相随

禁虫 (著名写手)

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2楼2017-11-01 00:03:04
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

把硅栅极的背面氧化层打磨露出导电部分,然后制作栅电极,银浆或者镀膜。
3楼2019-11-06 13:07:27
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