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beryl9112铜虫 (初入文坛)
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[求助]
在导电硅片上制备P3HT晶体管，导电硅氧化问题
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我制作P3HT晶体管，直接买的带有二氧化硅的导电硅片，在上面旋涂P3HT，然后制备源漏极。 制备之前，我会先把硅片二氧化硅的那面保护好，然后清洗导电硅表面。制备之前，导电硅是导电的。 但是导电硅裸露在空气中氧化，测试的时候栅极电阻很大。 请问大家做实验的时候有没有遇到导电硅氧化的问题？具体是怎么处理的？ |
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dearmaximus
金虫 (正式写手)
迷途小书童/二手科学家
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- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
3楼2019-11-06 13:07:27
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2楼2017-11-01 00:03:04
20