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lychee0924

新虫 (正式写手)

[求助] 请问做FIB或者EBL会破坏样品吗? 已有2人参与

看到介绍说,会在样品上面涂光刻胶,最后会去胶。但是真的不会影响样品表面的形貌吗?我要刻蚀的是500nm厚的纳米颗粒,能刻这么厚吗?菜鸟一枚,还请大家帮助。
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做好自己。。。
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947944607

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lychee0924(月牙儿的微笑代发): 金币+2, 感谢参与交流~~ 2015-10-10 18:09:05
FIB是需要破坏试件的,类似于离子减薄+SEM。能照截面的,比机械破坏好点吧
My Life's getting better,不过我喜欢简称,所以只说开头字母
2楼2015-07-03 21:07:27
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lulufan

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lychee0924(月牙儿的微笑代发): 金币+2, 感谢参与交流~~ 2015-10-10 18:09:19
样品肯定会受到影响的,但可以通过参数调整来找到最好的平衡。

另外,500 nm是没有问题的。
3楼2015-07-03 21:40:22
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xuhainiao

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lulufan at 2015-07-03 21:40:22
样品肯定会受到影响的,但可以通过参数调整来找到最好的平衡。

另外,500 nm是没有问题的。

你好,请教下,如果想用FIB  FA,对想要分析的位置深度有要求嘛?比方说我想看的位置距表面30微米左右?多谢!
luckyxuhaipeng@gmail.com
4楼2015-10-15 13:20:25
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