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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » CVD方法长氮化铟中怎么尽量不生成氧化铟
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小小亦默

新虫 (初入文坛)

[求助] CVD方法长氮化铟中怎么尽量不生成氧化铟

如题，有什么方法能减少或者避免得到样品中的氧化铟含量（PS： CVD气密性还算okay）
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1楼 2015-07-01 20:50:04
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yuki琪

新虫 (小有名气)
你好，请问你的氮化铟是靶材吗？
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2楼2016-11-25 12:14:48
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小小亦默

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yuki琪 at 2016-11-25 12:14:48
你好，请问你的氮化铟是靶材吗？

纳米材料
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3楼2016-12-13 21:56:36
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