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小小亦默

新虫 (初入文坛)

[求助] CVD方法长氮化铟中怎么尽量不生成氧化铟

如题,有什么方法能减少或者避免得到样品中的氧化铟含量(PS: CVD气密性还算okay)
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yuki琪

新虫 (小有名气)

你好,请问你的氮化铟是靶材吗?
2楼2016-11-25 12:14:48
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小小亦默

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yuki琪 at 2016-11-25 12:14:48
你好,请问你的氮化铟是靶材吗?

纳米材料
3楼2016-12-13 21:56:36
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