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[交流]
有没有做过铝阳极氧化膜腐蚀试验的
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| 现在有半导体设备为铝制，表面有黑色硬质氧化膜，由于其为蚀刻设备上用到的，上面沉积了一些蚀刻后留下的物质（具体物质不清楚），要做的就是要把这层物质给曲调，而不损伤氧化膜。可现在有个问题，就是一般而言，阳极氧化膜与大多数酸碱反应，现在试验做出来发现双氧水对氧化膜腐蚀比较小，但双氧水对蚀刻后留下的物质没有作用，想另找一些化学药品试验一下，但不清楚可以用那些药品，因为没有进行系统的铝阳极氧化膜腐蚀试验，还请有过这些试验经历的达人指点一二，先谢谢了！ |
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ajiao1984
专家顾问
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- 专业: 分析仪器与试剂
既然一般的化学腐蚀法不可以，能否尝试用电化学方法呢?利用电化学氧化还原方法（如恒电位技术或线性扫描技术等）将刻蚀留下的杂质氧化还原溶解掉。
2楼2008-08-08 09:11:57
3楼2008-08-10 08:49:13
