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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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【有奖交流】积极回复本帖子,参与交流,就有机会分得作者 10568976 的 3 个金币

10568976

版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

[交流] 有没有做过铝阳极氧化膜腐蚀试验的

现在有半导体设备为铝制,表面有黑色硬质氧化膜,由于其为蚀刻设备上用到的,上面沉积了一些蚀刻后留下的物质(具体物质不清楚),要做的就是要把这层物质给曲调,而不损伤氧化膜。可现在有个问题,就是一般而言,阳极氧化膜与大多数酸碱反应,现在试验做出来发现双氧水对氧化膜腐蚀比较小,但双氧水对蚀刻后留下的物质没有作用,想另找一些化学药品试验一下,但不清楚可以用那些药品,因为没有进行系统的铝阳极氧化膜腐蚀试验,还请有过这些试验经历的达人指点一二,先谢谢了!
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ajiao1984

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★ ★
10568976(金币+2,VIP+0):鼓励一下!
既然一般的化学腐蚀法不可以,能否尝试用电化学方法呢?利用电化学氧化还原方法(如恒电位技术或线性扫描技术等)将刻蚀留下的杂质氧化还原溶解掉。
   以上仅是个人拙见,望能有所帮助。
2楼2008-08-08 09:11:57
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10568976

超级版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

哈哈,多谢在奥运会开幕日还辛苦回复!多谢了!终于有回复的了!两个金币鼓励一下。
这个想法是可以,但对于我们的生产没有可操作性,而且在什么溶液中进行电化学氧化还要进行大量的试验,现在我们想通过一种比较简单、方便的方法来进行,毕竟生产操作不像是做试验,怎么做都可以。多谢了!!
3楼2008-08-10 08:49:13
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