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mimeng

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】废硅片的清洗方法

最近由于实验需要,想对一袋废硅片进行清洗,这些硅片上面有蓝膜,或者是有电路。 想请教各位有什么好方法对其进行清洗
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vanhalen76

金虫 (正式写手)

奖金币吗  我这个方法可是非常专业的啊 肯定可以啊 光用硝酸只能在硅片长产生一层二氧化硅的氧化膜 根本不能洗干净啊 王水更不可能了 也是只能产生氧化膜 
7楼2008-07-30 15:12:03
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happyking2290

金虫 (小有名气)

HF试试,有电路的加点硝酸,嘻嘻
2楼2008-07-30 10:15:09
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vanhalen76

金虫 (正式写手)

一定浓度的HF和硝酸 比例1:6 至1:10
6楼2008-07-30 15:09:09
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mimeng

银虫 (正式写手)

谢谢各位,HF+HNO3 我以前用过,把硅片丢下去反应很剧烈,有点吓人 。如果清洗效果好的话,我 还是会试一试的 。
希望还有别的方法介绍一下
8楼2008-07-30 15:40:01
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