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【求助】废硅片的清洗方法
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mimeng
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专业: 光学和光电子学
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【求助】废硅片的清洗方法
最近由于实验需要,想对一袋废硅片进行清洗,这些硅片上面有蓝膜,或者是有电路。 想请教各位有什么好方法对其进行清洗
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1楼
2008-07-30 09:19:05
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vanhalen76
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专业: 水泥与耐火材料
奖金币吗 我这个方法可是非常专业的啊 肯定可以啊 光用硝酸只能在硅片长产生一层二氧化硅的氧化膜 根本不能洗干净啊 王水更不可能了 也是只能产生氧化膜
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7楼
2008-07-30 15:12:03
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happyking2290
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专业: 半导体材料
HF试试,有电路的加点硝酸,嘻嘻
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2楼
2008-07-30 10:15:09
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vanhalen76
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一定浓度的HF和硝酸 比例1:6 至1:10
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6楼
2008-07-30 15:09:09
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mimeng
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谢谢各位,HF+HNO3 我以前用过,把硅片丢下去反应很剧烈,有点吓人 。如果清洗效果好的话,我 还是会试一试的 。
希望还有别的方法介绍一下
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8楼
2008-07-30 15:40:01
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