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【求助】纳米级中间层的结构表征
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我们做了一个Cu/IMC/Ni的三明治结构，现在希望确定IMC（金属间化合物）层（10-100nm厚）的结构。但是由于Cu和Ni层都很厚，做XRD很难分辨出Cu和Ni以外的峰。做TEM，在做离子减薄过程，由于IMC要比Cu和Ni层硬很多，往往都是Cu和Ni层都大了很大的洞，IMC层还很厚。请教各位高手，有什么办法或是好的方法来观测IMC层的结构。 [search]金属间化合物[/search] |
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