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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】纳米级中间层的结构表征
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hhy_china

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】纳米级中间层的结构表征

我们做了一个Cu/IMC/Ni的三明治结构，现在希望确定IMC（金属间化合物）层（10-100nm厚）的结构。但是由于Cu和Ni层都很厚，做XRD很难分辨出Cu和Ni以外的峰。做TEM，在做离子减薄过程，由于IMC要比Cu和Ni层硬很多，往往都是Cu和Ni层都大了很大的洞，IMC层还很厚。请教各位高手，有什么办法或是好的方法来观测IMC层的结构。
[search]金属间化合物[/search]
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1楼 2008-07-28 12:32:20
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yangyang100

银虫 (小有名气)
TEM做包埋的不知道有没有用，你可以尝试去扫个元素分析吧
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5楼2008-07-29 09:20:45
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ehshg

木虫 (小有名气)
不知你的TEM试样具体是如何制备的
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3楼2008-07-28 14:59:30
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hhy_china

银虫 (小有名气)
TEM样品的制备过程如下：将处理好的样品多层粘贴，切割成3mm*3mm左右的小块，沿横截面砂纸磨薄到10um以下，粘贴在铜网上，进行离子减薄（也可以做双喷，但是我们这里不太方便）。
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4楼2008-07-28 19:37:37
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